在周代已经有城隍的名称，隍字的本意为护城河，城隍一词的古义就是护城之河。人民对保家卫国的城隍又敬又爱，就把祭祀城隍列入了祀典。
由此可见，城隍首先是“亲民之神”，城隍神的职责主要是保护本城百姓，既有在冥冥之中保佑百姓安全、健康之职，又有监察和纠正阳世官员功过之责。代天理物，剪恶除凶，护国安邦，普降甘泽，判定生死，赐人福寿。凡民间有纠纷，就去拜城隍，于神像前立重誓，斩鸡头。唐时城隍神已兼理阴司冥籍。现在城隍庙中除了供奉主神城隍以外，还多供有判官和皂隶塑像，就是城隍神主理阴司冥籍的辅从。
据说，明太祖早年曾栖身于城隍庙中，当上皇帝之后，对土地城隍神特别崇敬，大行封赏。后来整顿祀典，更下令各地城隍如行政建制称呼，例如都城隍，府城隍，县城隍等。其庙宇建筑一如衙门。城隍衙门附设地狱、狱卒、犯人、刑具及十殿阎王、判官、黑白无常等，都塑得阴森可怖，以达到对人民劝善惩恶的目的。这种情况一直延续到清及民初。
城隍正式被认为是一个“神”，这始于南北朝时代。隋唐以后，城隍崇拜逐渐流行。唐代的清泰年间，政府封城隍神为王爵。到了宋代，政府把城隍列入国家祀典，各府、州、县都立城隍庙奉祀。元代顺承宋代的旧典，也对祭祀城隍非常重视，元上都和元大都均建有城隍庙，元大都的城隍神还被封为佑圣王。在明代对城隍崇拜达到极盛。明太祖洪武二年(公元1369年)封京都城隍为“承天鉴国司民升福明灵王”；封开封、临濠、太平、和州、滁州的城隍为正一品，其余各府的城隍为正二品；城隍的庙宇遍天下。
明代定五月十一日为都城隍圣诞日。不过，由于各地的城隍神多有功于民，例如苏州城隍神是春申君，上海的城隍是秦裕伯，他们的生日也并不一样。
《太平广记》中有这样一个故事：唐代洪州司马王简易有一次得了暴病，梦见一个“鬼使”，自称丁郢，手执符牒，说是奉了城隍的神命来捉拿他。王简易只得随着这个鬼使者去见城隍神。城隍神命左右拿过簿书来查看了一遍。看完之后对王简易说：你还有五年好活。就把他又放回了尘世。在封建时代，一般的城市中，最为常见的庙宇就是夫子庙与城隍庙了。夫子庙是祭祀关公的，这我们都知道；可城隍是一个什么样的神灵呢？
明清两代府州县官员新上任，例必排仪仗前往拜祭城隍，以示今后要为官清正，否则遭神谴责。
